TA1钛圆靶 钛靶块 钛靶材 钛靶板

TA1钛圆靶 钛靶块 钛靶材 钛靶板

一、牌号

国内牌号：TA1、TA2、TC4

美标牌号：GR1、GR2、GR5

二、靶材的主要性能要求:

（1）纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，
对靶材的纯度要求也不尽相同。

（2）杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂
质含量的要求也不同。

三、表面

车光、倒角。表面清洁光滑，无起皮，气孔，裂纹等缺陷。

四、规格

Φ100*40，Φ98*40，Φ95*45，Φ90*40，Φ85*35较常见，其他规格可按客户要求制作。