一、牌号
国内牌号:TA1、TA2、TC4
美标牌号:GR1、GR2、GR5
二、靶材的主要性能要求:
(1)纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,
对靶材的纯度要求也不尽相同。
(2)杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂
质含量的要求也不同。
三、表面
车光、倒角。表面清洁光滑,无起皮,气孔,裂纹等缺陷。
四、规格
Φ100*40,Φ98*40,Φ95*45,Φ90*40,Φ85*35较常见,其他规格可按客户要求制作。